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JIS C 5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法
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JIS C 5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法 JIS C5630-6-2011 マイクロマシン及びMEMS-第6部:薄膜材料の軸荷重疲労試験方法.pdf(236.5KB)
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