一种应用于真空镀膜环境的快门式观察窗

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真空镀膜行业是高端科枝工业产业的重要组成部分，近几年来镀膜技术及薄膜产品在工业上应用非常广泛，尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有极其重要的地位。观察窗应用于真空镀膜设备，观察真空容器内部生产工艺情况§门式观察窗为可拆连接，结构紧凑，为了防止镀膜过程中某些金属元素或腐蚀性物质直接镀到玻璃片上而设计的结构。传统带挡板观察窗，为了满足挡板的旋转空间，整体尺寸较大，大于通径，按ISO100法兰通径尺寸，长度在140ram左右。由于结构的问题，中心位置装有转轴，视角受到阻挡。而这种快门式观察窗，厚度约为36ram，较薄，不占空间，观察视角广，没有阻挡视角，优于传统带挡板观察窗。

1 设计优点图1主要构成的零件包括：1.把手、2.压盖、3.滚珠轴承、4.底座、5.转轴0形密封圈、6.转轴、7./J、齿轮、8.0形密封gl( )20lgx0.64x 2X2- 28≥。

g2( )m c/i- 2。。。≥0 (，JL6) 、/ u，g，( )2502c1v/，1≥。

计算结果分析：根据内点惩罚函数法的BASIC程序，通过QBASIC软件可以计算出本文中需要设计的消声器的最优尺寸。由此可以得到最终的结果为m18，LO.1m。为了保证消声器能够消除高出设计标准的噪声，在设计结果的圈、9.内快门片、10.拉伸弹簧、l1.玻璃压盖、l2.玻璃片、13.O形密封圈、l4.挡圈、15.外快门片、16.调节环、17.钢珠、18.挡盖。

设计优点在于整体结构紧凑，空间小，安装简单，使用钢珠做滑动部件，摩擦力小，滑动可靠。采用氟橡胶做密封材料，密封性能良好，使用寿命长，适用于中高真空环境。

2 结构设计、工作原理及材料图2所示，为快门式观察窗初始闭合状态，内快门片9靠外快门片15上的小挡圈顶住限位，外快门片l5靠内快门片9上的支点和拉伸弹簧10拉力限位，使内、快门片闭合。

图2 完全闭合状态基础上适当加长消声器的长度，最后，将L定为0.1 lm。0