微泵的研究现状与进展

在过去 20年中，随着微加工技术的发展，微机电系统(MEMS)迅速兴起，出现了大量的成功应用。微流体系统作为微机电系统的-个重要分支，近年来-直是各国研究的热点。根据 2012年 Yole 研究报告显示，微机电系统(MEMS)市场预计平均每年以20%的速度增长，到2017年微机电系统的市场份额将达到210亿美元，而微流体装置将占到这个市场份额的 23%。

微泵作为微流体系统的心脏”，是微流体输送的动力源，也是微流体系统发展水平的重要标志。作为- 种重要的微型执行部件，微泵还可广泛应用于药物输送、血液运输、DNA合成、电子冷却系统、微全分析系统、微型燃料电池、微型卫星推进系统等领域，具有巨大的市场应用前景。本文介绍微泵的发展现状，并论述了国内外典型微泵的最新研究进展。

I 微泵的发展现状1.1 无阀微泵快速发展微泵根据其有无可动阀片分为有阀微泵和无阀微泵。典型的无阀微泵有收缩 -扩张型微泵，以及基于流体性质的非机械式微泵。有阀微泵的优点是原理简单，制造工艺成熟，易于控制，反向截止性能较好。但缺点也很明显：由于阀片的存在，微泵加工工艺要求高，结构复杂，不利于集成以及微型化；阀片易疲劳，并